検査測定装置

レーザ走査表面形状検査機[特許登録済]

Core System ”CSYS”シリーズは、レーザ走査幅40mmで、広い範囲の微小な高さの変化を測定可能。他社では小さな範囲のデータ画像を繋ぎ合わせるため実際の表面変化を再現出来ません。
コアシステムは特許技術の「レーザ表面形状検査機」で、半導体ウエハ(Si, SiC, GaN, etc.)、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」「パーティクル」「キズ欠陥」を高感度で、早く、広い範囲を検査して「デジタルデータ」と「3D画像データ」を表示します。

レーザ走査表面形状検査機[特許登録済]
【特徴】
  1. ① レーザ走査式非接触で表面形状(粗さ・うねり・キズ・汚れ・パーティクル)測定データ表示
  2. ② 高い検出感度で広い測定範囲を、速く測定してデジタル画像表示
  3. ③ シンプルな光学検出原理と構造のために、信頼性が高い
  4. ④ 走査幅40mmを、2.8msecの短い時間に走査検出するので、極めて振動に強く除震台・防振装置不要
  5. ⑤ インライン工程内の全数非破壊検査、自動化対応可能
【測定対象ワーク】

半導体ウエハ、ハードディスク、金属薄膜、フイルム、FPD、MEMS、など

レーザ走査表面検査機 コアシステム”CSYS”原理説明動画[特許登録済]

各種測定サンプルの表面形状データ

半導体ウエハの表面形状データ
  • ウエハ表面形状
  • ウエハ全面測定で検出した欠陥の拡大画像
  • ウエハ(中心部)鏡面研削条痕
DISKの表面形状データ
  • DISK 表面形状詳細調査
  • DISK パーティクル・突起の検出
  • DISK 表面形状解析
FPDの表面形状データ
  • FPD ラビング処理後の画像
  • FPD
  • FPD リブの欠陥検出

狭窄部品内部検査装置「超長作動焦点距離顕微鏡・CCDカメラ画像処理装置」

長作動距離特殊顕微鏡微細表面形状測定・検査機
内視鏡・硬性鏡のx10倍の分解能で、焦点距離:Max300mm
狭窄部品内部検査装置「超長作動焦点距離顕微鏡・CCDカメラ画像処理装置」
【特 徴】
  1. ① 超長焦点距離:MAX300mm
  2. ② 分解能:10μm(内視鏡硬性鏡のx10倍)
  3. ③ ズーム機能
  4. ④ リチウムイオン電池(プレス深絞加工)など対物レンズが入らない狭窄な場所が測定可能
  5. ⑤ 5種類の照明光源で対応
  6. ⑥ ハンドリングロボット・画像処理と組合せ、測定検査の自動化可能
  7. 平成21年度長岡市「フロンティアチャレンジ支援助成」による技術開発・試作
© 2019 csys.jp.