レーザ走査方式表面形状検査機”CSYS”。広い測定範囲の表面を超高感度で短時間で測定!

洗浄装置

液晶パネル洗浄装置

【特 徴】

  • ①ローラーブラシによる枚葉式液晶パネル洗浄装置
  • ②枚葉式でサイクルタイム 10秒/枚を実現
  • ③装置メンテナンスが容易
  • ④パネルへのストレスが殆どない

【対応可能サイズ】

C F 側:
L(46.27~182.75)× W(35.97~137.1)
t=0.8~2.2

TFT側:
L(49.7~186.6)× W(40.8~142.5)
t=0.8~2.2
装置本体 W2135×D1410×H1295

液晶キャリーカセット洗浄装置

【特 徴】

  • ①液晶キャリヤーカセットの洗浄、乾燥を8分/個を実現
  • ②装置メンテナンスが容易
  • ③セルフクリーニング機能

【対応可能サイズ】

W333×D294×H420
装置本体 W3800×D1200×H1840