レーザ走査表面形状検査機[特許登録済]
Core System ”CSYS”シリーズは、レーザ走査幅40mmで、広い範囲の微小な高さの変化を測定可能。他社では小さな範囲のデータ画像を繋ぎ合わせるため実際の表面変化を再現出来ません。
コアシステムは特許技術の「レーザ表面形状検査機」で、半導体ウエハ（Si, SiC, GaN, etc.）、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」「パーティクル」「キズ欠陥」を高感度で、早く、広い範囲を検査して「デジタルデータ」と「３D画像データ」を表示します。
- 【特徴】
- ① レーザ走査式非接触で表面形状（粗さ・うねり・キズ・汚れ・パーティクル）測定データ表示
- ② 高い検出感度で広い測定範囲を、速く測定してデジタル画像表示
- ③ シンプルな光学検出原理と構造のために、信頼性が高い
- ④ 走査幅40mmを、2.8msecの短い時間に走査検出するので、極めて振動に強く除震台・防振装置不要
- ⑤ インライン工程内の全数非破壊検査、自動化対応可能
- 【測定対象ワーク】
半導体ウエハ、ハードディスク、金属薄膜、フイルム、FPD、MEMS、など
レーザ走査表面検査機 コアシステム”CSYS”原理説明動画[特許登録済]
各種測定サンプルの表面形状データ
- 半導体ウエハの表面形状データ
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ウエハ表面形状
ウエハ全面測定で検出した欠陥の拡大画像
ウエハ（中心部）鏡面研削条痕
- DISKの表面形状データ
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DISK 表面形状詳細調査
DISK パーティクル・突起の検出
DISK 表面形状解析
- FPDの表面形状データ
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FPD ラビング処理後の画像
FPD
FPD リブの欠陥検出
狭窄部品内部検査装置「超長作動焦点距離顕微鏡・CCDカメラ画像処理装置」
- 長作動距離特殊顕微鏡微細表面形状測定・検査機
- 内視鏡・硬性鏡のｘ10倍の分解能で、焦点距離：Max300mm
- 【特 徴】
- ① 超長焦点距離：MAX300mm
- ② 分解能：１０μm（内視鏡硬性鏡のｘ10倍）
- ③ ズーム機能
- ④ リチウムイオン電池（プレス深絞加工）など対物レンズが入らない狭窄な場所が測定可能
- ⑤ 5種類の照明光源で対応
- ⑥ ハンドリングロボット・画像処理と組合せ、測定検査の自動化可能
- 平成21年度長岡市「フロンティアチャレンジ支援助成」による技術開発・試作
![レーザ走査表面形状検査機[特許登録済]](https://csys.jp/wp-content/themes/csys.jp/img/product/csys.jpg)
