- 【特徴】
- ① レーザ走査式非接触で表面形状(粗さ・うねり・キズ・汚れ・パーティクル)測定データ表示
- ② 高い検出感度で広い測定範囲を、速く測定してデジタル画像表示
- ③ シンプルな光学検出原理と構造のために、信頼性が高い
- ④ 走査幅40mmを、2.8msecの短い時間に走査検出するので、極めて振動に強く除震台・防振装置不要
- ⑤ インライン工程内の全数非破壊検査、自動化対応可能
- 【測定対象ワーク】
半導体ウエハ、ハードディスク、金属薄膜、フイルム、FPD、MEMS、など
Core System ”CSYS”シリーズは、レーザ走査幅40mmで、広い範囲の微小な高さの変化を測定可能。他社では小さな範囲のデータ画像を繋ぎ合わせるため実際の表面変化を再現出来ません。
コアシステムは特許技術の「レーザ表面形状検査機」で、半導体ウエハ(Si, SiC, GaN, etc.)、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」「パーティクル」「キズ欠陥」を高感度で、早く、広い範囲を検査して「デジタルデータ」と「3D画像データ」を表示します。
半導体ウエハ、ハードディスク、金属薄膜、フイルム、FPD、MEMS、など